เวเฟอร์ 8 นิ้ว (200 มม.)

ประเภท/เจือปน

P, Boron N, ฟอสฟอรัส N, พลวง N, สารหนู

F42

การวางแนว

<100>,   <111>แบ่งทิศทางตามข้อกำหนดของลูกค้า

F26

ปริมาณออกซิเจน

10¹⁹ PPMA Custom Tolerances ตามข้อกำหนดของลูกค้า

F121

ปริมาณคาร์บอน

< 0.6   ppmA

F123

ช่วงความต้านทาน- P, Boron- n, phosphorous- n, พลวง- n, สารหนู

0.001 - 50 ohm cm
0.1 - 40 ohm cm
0.005 - 0.025 ohm cm
<0.005 โอห์มซม.

F84

เส้นผ่าศูนย์กลาง

200 ± 0.2 มม.

200 ± 0.2 มม.

200 ± 0.5 มม.

F613

ความหนา

725 ± 20 µm (มาตรฐาน)

725 ± 25 µm (มาตรฐาน) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1,000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm

725 ± 50 µm (มาตรฐาน)

F533

TTV

< 5 µm

< 10 µm

< 15 µm

F657

โค้งคำนับ

< 30 µm

< 30 µm

< 50 µm

F657

ห่อ

< 30 µm

< 30 µm

< 50 µm

F657

การปัดเศษขอบ

กึ่งเอสดี

F928

การทำเครื่องหมาย

กึ่งกึ่งหลักเท่านั้นแฟลตกึ่ง jeida แฟลต, บาก

F26, F671

เกณฑ์ด้านหน้า

สภาพพื้นผิว

สารเคมีขัดเงา

สารเคมีขัดเงา

สารเคมีขัดเงา

F523

ความขรุขระ

< 2 A°

< 2 A°

< 2 A°

Contamination,Particles   @ >0.3 µm

= 20

= 20

= 30

F523

หมอกควัน, บ่อ, เปลือกส้ม

ไม่มี

ไม่มี

ไม่มี

F523

เห็นเครื่องหมาย, striations

ไม่มี

ไม่มี

ไม่มี

F523

เกณฑ์ด้านหลัง

รอยแตก, Crowsfeet, เห็นเครื่องหมาย, คราบ

ไม่มี

ไม่มี

ไม่มี

F523

สภาพพื้นผิว

กัดกร่อน

F523