4 นิ้ว (100 มม.) เวเฟอร์

ประเภท / เจือปน

P, โบรอน N, ฟอสฟอรัส N, พลวง N, สารหนู

F42

การปฐมนิเทศ

<100> <111> ตัดการจัดแนวตามข้อกำหนดของลูกค้า

F26

ปริมาณออกซิเจน

10 ¹⁸ ppmA ความคลาดเคลื่อนที่กำหนดเองตามข้อกำหนดของลูกค้า

F121

ปริมาณคาร์บอน

<0.5 ppma="">

F123

ความต้านทานช่วง - P, โบรอน - N, ฟอสฟอรัส - N, พลวง - N, สารหนู

0.001 - 50 โอห์ม·ซม
0.1 - 40 โอห์ม·ซม
0.005 - 0.025 โอห์ม·ซม
<0.005>

F84

เส้นผ่าศูนย์กลาง

100 ± 0.2 มม

100 ± 0.2 มม

100 ± 0.5 มม

F613

ความหนา

525 ± 20 µm (มาตรฐาน)

525 ± 25 µm (มาตรฐาน) 381 ± 25 µm 625 ± 25 µm 700 ± 25 µm 800 ± 25 µm 1,000 ± 25 1000m 1500 ± 25 µm

525 ± 50 µm (มาตรฐาน)

F533

TTV

<5>

<10>

<15>

F657

คันธนู

<30>

<30>

<40>

F657

Wrap

<30>

<30>

<40>

F657

การปัดเศษขอบ

SEMI-STD

F928

เครื่องหมาย

SEMI-STD Flats, หลัก SEMI-Flat เท่านั้น

F26, F671

เกณฑ์ด้านหน้า

สภาพพื้นผิว

เคมีขัดกล

เคมีขัดกล

เคมีขัดกล

F523

พื้นผิวที่ขรุขระ

<2 a="">

<2 a="">

<2 a="">

การปนเปื้อน, อนุภาค @> 0.3 µm

= 20

= 20

= 30

F523

หมอกควันหลุมเปลือกส้ม

ไม่มี

ไม่มี

ไม่มี

F523

Saw Marks, striations

ไม่มี

ไม่มี

ไม่มี

F523

เกณฑ์ด้านหลัง

รอยแตก crowsfeet เห็นรอยเปื้อน

ไม่มี

ไม่มี

ไม่มี

F523

สภาพพื้นผิว

กัดกร่อนกัดกร่อน

F523